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西安橡膠空氣彈簧的剛度
彈性空氣彈簧的剛度設為k，隔振系統的阻尼系數為c，彈簧下的基礎為剛性基礎，彈簧隔振器的動力學模型。它代表了壓印光刻機連接到橡膠空氣彈簧并固定在剛性基礎上的隔振問題。對于外部運動位移xs振源的激勵，橡膠空氣彈簧起隔振作用。
實際隔振系統的質量m由壓印光刻機、大理石板、粘彈性阻尼材料、水泥地基連接鋼板、空氣彈簧等組成。系統阻尼大，故設置隔離5Hz以上的振動位移干擾。為滿足隔振系統的固有頻率fn=1Hz的要求，對空氣彈簧剛度和系統固有頻率進行了選取，必須對其剛度進行選取。考慮到簡便易行，暫不考慮阻尼的影響，所以隔振系統的固有頻率。空氣彈簧參數估計隔振系統的固有頻率0.6Hz小于1Hz，結果滿足設計要求。
通過對實際隔振系統進行振動試驗，得到自由振動幅值衰減曲線。根據隔振系統的時域自由振動曲線，通過頻譜分析可以得到隔振系統的頻譜特性，基頻為0.8Hz，滿足小于1Hz的要求，實驗結果與理論估計0.6Hz非常接近，說明理論估計是可靠的。空氣彈簧隔振器可以滿足低頻隔振的要求。隔振設計理論分析結果與實測結果基本一致，表明了理論分析的正確性。該工作對實際工程問題具有參考價值。
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